【光明日報】國內首臺12英寸臥式爐設備成功發(fā)貨
來源：新聞中心
發(fā)布時間：2026年04月09日 編輯：新聞中心
隨著半導體產業(yè)對12英寸晶圓需求的快速增長，核心熱處理設備自主發(fā)展已成為支撐半導體先進制程高質量發(fā)展的關鍵之一。近日，電科裝備旗下中電科紅太陽光電公司迎來產業(yè)化發(fā)展新成果，國內首臺12英寸臥式爐設備順利發(fā)往客戶現(xiàn)場。該設備的成功研制，標志著國產半導體臥式熱處理設備在先進制程領域取得重要突破，為半導體產業(yè)鏈供應鏈韌性和安全水平提供強力支持。
本次發(fā)貨的12英寸臥式爐設備精準對標行業(yè)先進制程發(fā)展趨勢，直擊行業(yè)痛點，重點攻克了臥式爐溫場均勻性、流場均勻性、自動化控制及顆粒控制等技術卡點，全面滿足了專用臥式爐設備大尺寸晶圓處理、優(yōu)異溫度均勻性及高運行穩(wěn)定性等產線關鍵性能要求。同時，該設備率先實現(xiàn)與客戶端天車（OHT/AGV）系統(tǒng)的自動化對接，適配半導體領域關鍵熱處理工藝，有效完成設備自動化集成，關鍵技術指標達國際先進水平，切實保障了大尺寸晶圓高質量生產制造能力。
未來，電科裝備將堅持“產業(yè)強企”發(fā)展戰(zhàn)略，集中優(yōu)勢資源攻堅行業(yè)關鍵核心技術，以硬核科技實力護航產業(yè)發(fā)展，為提升國家戰(zhàn)略科技力量、實現(xiàn)高水平科技自立自強筑牢原始創(chuàng)新根基。
