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納米級高精度檢測，電科芯片超高速圖像傳感器
來源：新聞中心
發(fā)布時間：2026年04月03日 編輯：新聞中心
近日，電科芯片團(tuán)隊研制的首款超高速圖像傳感器，具備超快的成像速度、超高的識別精度，為我國高端半導(dǎo)體檢測裝備配置了“慧眼”。
一枚小小的圖像傳感器，看清的是微觀世界，支撐的是大國重器。研發(fā)過程中，科研團(tuán)隊突破多項關(guān)鍵技術(shù)，研制的超高速圖像傳感器實現(xiàn)對半導(dǎo)體工藝中晶圓表面的納米級缺陷、沾污等問題的實時高精度檢測。后續(xù)，科研團(tuán)隊將進(jìn)一步提升技術(shù)水平，積極推動技術(shù)成果轉(zhuǎn)化，完善產(chǎn)業(yè)鏈體系建設(shè)，為實現(xiàn)高水平科技自立自強(qiáng)、保障集成電路產(chǎn)業(yè)鏈作出更大貢獻(xiàn)。
